型号:美国CDE ResMap 178
技术参数:
﹡测量尺寸:2~8寸晶圆
﹡测量速度:大于49点/分钟
﹡测量范围:1mΩ sq-1 ~5MΩ sq-1
﹡测量重复性:≤±0.02%
﹡精确度:<0.1%